Lista przedmiotów z materiałami udostępnionymi dla studentów

Dla_studentów
  • Increase font size
  • Default font size
  • Decrease font size

Aleksandra Bednarek

Modyfikacja plazmowa powłok DLC przy wykorzystaniu plazmy sześciofluorku siarki oraz różnych materiałów masek


Plasma modification of DLC coatings with use of sulphur hexafluoride and different mask materials


Opiekun pracy dyplomowej: dr hab. inż. Damian Batory
Praca dyplomowa inżynierska obroniona 2020-02-12
Streszczenie pracy dyplomowej:
W pracy przestawiono właściwości powierzchni powłok węglowych wytworzonych na podłożu krzemowym, poddanych trawieniu przez siatkę plazmą szcześciofluroku siarki (SF6), przy zmiennych czasach trawienia. Proces nanoszenia oraz plazmowego trawienia powłok przeprowadzono w reaktorze RF PACVD/MS, w Instytucie Inżynierii Materiałowej Politechniki Łódzkiej. Określono dla tych powłok: strukturę, głębokość trawienia, rozwinięcie powierzchni, skład chemiczny oraz właściwości fizykochemiczne. Przeprowadzona analiza obrazu w programie ImageJ oraz zestawienie wyników badań w tabele i wykresy, pozwoliły na sprecyzowanie wpływu wybranej metody trawienia powłok węglowych na skład chemiczny oraz morfologię i topografię powierzchni tychże powłok. Słowa kluczowe: powłoka węglowa DLC, trawienie plazmowe, SF6, RF PACVD, analiza obrazu.
Abstract:
brak